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在半导体行业中工业静电有哪些危害?

来源: | 发布日期:2022-07-04

在半导体行业中工业静电有哪些危害?

众所周知,静电是无处不在,无时不刻都在发生的,上一秒消除下一秒它又产生,从生活中的静电到工业静电,皆是如此。而在众多工业领域中,静电对半导体生产制造过程产生的影响额外明显,所以半导体行业对静电的防护要求也比其他行业要高,那么静电对其的危害具体体现在哪些方面呢?

一、 MOS结构元器件,由静电过高引起的介质击穿,造成短路

二、 半导体结构元器件,由过热引起的微等离子区二次击穿

三、 膜电阻器结构元器件,由介质击穿形成新的电流通路

四、 金属化条结构(IC),静电造成与焦耳热有关的开路

五、 压电晶体结构元器件,由静电干扰引起机械压力震荡过大,造成晶体断裂

静电电压

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【本文标签】 技术知识 静电压监测 esd监控

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