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​电子行业应该怎样对静电压进行检测?
来源: 时间:2022-05-28

电子行业应该怎样对静电压进行检测?


如今,许多类型的微电子行业需要有效控制生产不良率和质量可靠性问题,包括集成电路制造(晶圆制造和芯片密封测试)、平板显示制造(前段TFTFab、中段LCD成盒组装/OLED组装后显示模块,MEMS(前段晶圆制造与后段器件封装)等等。

以工厂人体静电引起的微电子设备问题为例(HumanBodyModel,人体静电放电模型),让我们检查人体静电分析与人体静电相关的技术认知和实践方法。

下图为LED被人体静电击穿失效的图片:

LED击穿

 

基于这种情况LED静电失效机理(正向导通静电放电),人体放电产生的放电电流范围越大,这SMDLED电性失效的风险越高(通常SMDLED工作电流幅值几毫安)LCD屏幕模组工厂中LED静电损伤常称为坏灯—即通低电流不再发光)

因此,要有效保护SMDLED不会被工作人员身体上的静电放电“击穿”,就必须将工作中操作人员的人体静电压管控得足够低(由LED承载电流*确定人体皮肤电阻)

因此,在工厂的静电保护实践中,必须做的是检测人体静电带电的真实水平,即检测人体静电的有效方法,以确认工厂当前的人体静电控制措施是否足够有效。如果您不知道怎样检测,可以来看看深圳斯泰科微的静电压传感器和人体行走电压测试仪,多款产品皆可满足您的需求。

现实情况是,相当多的电子制造工厂采用基于国际工业的人体静电压检测方法ESD标准(美标ANSI/ESDS20.20、欧标IEC61340-5-1)测试方法,即借助CPM设备(Charged Plate Monitor,静电充电板测试仪)。

那么,这种检测人体静电(静电压)的方法真的能反映人体静电带电量吗?如果人体静电检测方法失真,会对工厂人体静电控制的技术分析和判断造成一定的干扰或误差。

只要你了解CPM基于基本的物理分析,可以明确判断设备测量静电压及其充电板的电容参数:

CPM通过其充电板与人体串联,人体静电并联20pF由此产生的人体静电压必须明显低于人体原有的静电压(人体静电荷/人体对地电容)(人体对地电容一般为100pF左右),即,CPM通过测量人体静电压获得的数据显偏小失真。

那么,如何实现无失真检测人体静电带电的目的呢?

其实有CPM方法检测人体静电压,即消除静电压测量仪器并联电容的影响,即用非接触式静电压计测量人体皮肤(如手掌)的静电压。

因此,通过上述人体静电对SMDLED根据对放电机制和人体静电压检测方法的分析,电子工厂静电保护实践中还有许多其他内容需要重新检测工厂目前的做法是否合理,是否存在偏差。

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